所屬地區
浙江省
加入日期
2016年10月14日
截止時間
2016年10月20日
正文內容
一．采購人名稱：
浙江大學
二．采購項目名稱：
三．采購項目編號：
CG201602222
四．原采購公告發布日期：
2016年10月13日
五．更正理由：
采購人要求
六．更正事項：
技術參數更正，更正后的技術參數如下：
設備名稱
數量
技術參數
光學軟刻蝕裝置（進口）（CG201602222）
1
1、曝光面積：200×200mm；
2、分辨力：≤3um；
3、對準精度：±2um；
4、掩模尺寸：3英寸、5英寸、7英寸、9英寸；
5、樣片尺寸：2英寸、4英寸、6英寸、8英寸；
6、wafer chuck表面：防止光反射涂層；
7、掩模樣片整體運動范圍：X：10mm，Y：10mm；
8、掩模相對于樣片運動行程：X：±5mm，Y：±5mm，q：±6°；
9、汞燈功率：1000W直流；
10、曝光能量密度：≥15mW/cm 2；
11、光源能量控制：光源恒功率（每日測量光強，微調recipe)；
12、曝光峰值波長：365nm；
13、曝光方式：定時（倒計時方式0.1s~9999.9s）；
14、光刻版夾具兼容性；
15、具有盲曝粗對準功能。
16、配置：
16.1、曝光頭系統：冷光橢球鏡，1000W直流高壓汞燈，XYZ汞燈調節臺，光學系統（冷光紫外平面反射鏡、快門、蠅眼透鏡組、冷光紫外拋物面反射鏡），冷卻風扇；
16.2、對準工件臺系統：掩模樣片相對運動臺，XY轉動臺，樣片調平機構，樣片調焦機構，承片臺3個（對應樣片），掩模夾3個（對應掩模）；
16.3、CCD對準顯微鏡系統：4倍顯微鏡2只，照明光源2套，CCD相機2只，22英寸液顯；
16.4、電控系統：汞燈觸發電源(1000W)，單片機控制系統，控制柜桌；
16.6、其他附件：真空泵1臺，空壓機1臺，配套氣管10~15m。
七．其他事項：
八．聯系方式
采購代理機構名稱： 杭州求是招標代理有限公司
地點：杭州市豐潭路380號城西銀泰城B座11樓1101
聯系人：王盼
聯系電話：0571-87953982
傳真： 0571-87666111
| 所屬地區 | 浙江省 | 加入日期 | 2016年10月14日 | 截止時間 | 2016年10月20日 |
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正文內容
一．采購人名稱：
浙江大學
二．采購項目名稱：
三．采購項目編號：
CG201602222
四．原采購公告發布日期：
2016年10月13日
五．更正理由：
采購人要求
六．更正事項：
技術參數更正，更正后的技術參數如下：
| 設備名稱 | 數量 | 技術參數 |
| 光學軟刻蝕裝置（進口）（CG201602222） | 1 |
1、曝光面積：200×200mm；
2、分辨力：≤3um；
3、對準精度：±2um；
4、掩模尺寸：3英寸、5英寸、7英寸、9英寸；
5、樣片尺寸：2英寸、4英寸、6英寸、8英寸；
6、wafer chuck表面：防止光反射涂層；
7、掩模樣片整體運動范圍：X：10mm，Y：10mm；
8、掩模相對于樣片運動行程：X：±5mm，Y：±5mm，q：±6°；
9、汞燈功率：1000W直流；
10、曝光能量密度：≥15mW/cm 2；
11、光源能量控制：光源恒功率（每日測量光強，微調recipe)；
12、曝光峰值波長：365nm；
13、曝光方式：定時（倒計時方式0.1s~9999.9s）；
14、光刻版夾具兼容性；
15、具有盲曝粗對準功能。
16、配置：
16.1、曝光頭系統：冷光橢球鏡，1000W直流高壓汞燈，XYZ汞燈調節臺，光學系統（冷光紫外平面反射鏡、快門、蠅眼透鏡組、冷光紫外拋物面反射鏡），冷卻風扇；
16.2、對準工件臺系統：掩模樣片相對運動臺，XY轉動臺，樣片調平機構，樣片調焦機構，承片臺3個（對應樣片），掩模夾3個（對應掩模）；
16.3、CCD對準顯微鏡系統：4倍顯微鏡2只，照明光源2套，CCD相機2只，22英寸液顯；
16.4、電控系統：汞燈觸發電源(1000W)，單片機控制系統，控制柜桌；
16.6、其他附件：真空泵1臺，空壓機1臺，配套氣管10~15m。
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七．其他事項：
八．聯系方式
采購代理機構名稱： 杭州求是招標代理有限公司
地點：杭州市豐潭路380號城西銀泰城B座11樓1101
聯系人：王盼
聯系電話：0571-87953982
傳真： 0571-87666111
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